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- 微电子工业
- 集成电路光刻工艺的尺寸是推动洁净度要求向前发展的决定性因素。技术越进步,尺寸就越小(如下表)。如果落在集成电路上的粒子大于最小光刻尺寸的1%~2%,就会使集成电路成为废品。金属粒子、离子、细菌等都是产生废品的元凶。空气洁净度的好坏直接影响集成...
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- 精密仪器
- 精密仪器要求其部件不能因为表面落入的颗粒物而影响了其工作的精密性,这就要求流向精密仪器的空气必须进行有效的过滤处理,以保护产品...
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- 医疗与保健
- 医院作为病毒高度集中的地方,保护病人及医护人员的人生安全,消除被感染的风险,致使医院对通风设施及医疗设备的洁净度有了非常严格的要求。...
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- 生物制药
- 在药品生产过程中,通常情况下所指的空气污染物质主要有以下三类: 1.悬浮在空气中的固态、液态粒子; 2.霉菌、致病菌等悬浮在空气中的微生物; 3.各种对人体或生产过程有害的气体...
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