方案详情：
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年 份 |
1987 |
1993 |
1998 |
2000 |
2006 |
2012 |
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信息容量兆比特（M），千兆比特（Γ） |
1-4M |
16-64M |
256M |
1Γ |
6Γ |
64Γ |
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最小光刻尺寸，微米 |
0.8-1.0 |
0.35-0.6 |
0.25 |
0.15 |
0.10 |
0.05 |
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要求洁净室的级别 |
4 |
3-4 |
2 |
2 |
<1 |
<1 |
微电子产品的功能要求越来越高，投资规模越来越大，对质量水平的要求越发严格。我们的超高效过滤器可以成功的过滤0.1微米的粒子，在
未来的时间里，将开发、生产更高效率的空气过滤技术与之相适应是我们义不容辞的责任。
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