空气污染是由能够改变空气自然特性的任何化学、物理或生物物质对室内或室外环境造成的污染。家用燃烧装置、机动车辆、工业设施和森林火灾是空气污染的常见来源。在公共卫生领域引起重大关注的污染物包括微粒物质、一氧化碳、臭氧、二氧化氮和二氧化硫。室外和室内空气污染引起可能致命的呼吸系统疾病及其它疾病。

洁净室之污染来源，经测试分析结果，作业人员占约 80%，作业人员进出洁净室时洁净室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、以及一般性气体如 N2、O2、Air、给水、溶剂等； 而内污染源则包括生产设备、工作人员、工具、加工制造、隔间材料、工作台、 包装材料等。所以洁净室工作不但要使用无尘材料，如无尘布，无尘服等，还要加强对进出人员的管理，方能发挥洁净室应有的作用。