六十年代初是中国洁净室技术发展的起步阶段，大致比国外晚了十年。在中国，那是一个非常特殊的困难年代，一方面刚度过三年自然灾害，经济基础薄弱，另一方面与世界科技先进国家没有直接交往，得不到必要的科技数据、信息和样品。在这种艰难条件下，围绕精密机械、航空仪表和电子工业的需要，中国的洁净技术工作者开始了自己的创业历程。

 

洁净室技术在中国发展的历程划分为如下几个阶段：

1、起步和奠基阶段

六十年代初至七十年代末，这十多年是中国洁净技术的起步和奠基阶段。1965年，由中国建筑科学研究院空气调节研究所和蚌埠绝缘材料厂等单位研制完成带波纹隔板的高效空气过滤器通过鉴定，标志了我国洁净技术开始正式起步。当时所用滤纸有两种材质，一种是蓝石棉纤维滤纸的GS系列高效空气过滤器，但因生产过程对人体健康不利很快被淘汰；另一种是超细玻璃纤维滤纸的GB系列高效空气过滤器，一直沿用至今。在这个阶段内，与洁净室配套的净化设备陆续试制成功，一些原来生产无线电、半导体专用设备的、生产医疗器械的工厂转向净化设备的生产，在国内形成了初步的洁净室设备生产规模与布局。

 

2、洁净室成熟与发展阶段

七十年代末至八十年代末，这十年间，中国的洁净技术经历了一段阳光灿烂的发展阶段。在中国洁净技术发展历程中，许多标志性的重要成果，几乎都诞生在这个阶段。

(1)标准、规范制定与国际交往方面：

1979年1月出版了 《空气洁净技术措施》，起到了规范与推动当时中国洁净室技术的重要作用，为日后国家标准的制定奠定了基础。

1984年12月颁发了《洁净厂房设计规范》，为中国洁净室技术与国际接轨向前迈进了一步。

随后，结合中国国情，参考国际标准先后制定了GB6166-85高效滤料性能实验方法、穿透率和阻力，GB6167-85尘埃粒子计数器性能试验方法，GB6168-85层流洁净工作台检验标准等多个标准，对统一与规范试验、测定方法，增强科学性起了很大作用。

1982年6月成立了中国电子学会洁净技术分会（对外的名称是“中国污染控制协会”CCCS—Chinese Contamination Control Society）。1986年中国洁净技术学会成国国际污染控制学会联盟ICCCS（International Confederation of Contamination Control Society）的成员。

(2)洁净室基础与技术研究方面：

在七十年代末至八十年代末这10年中，在洁净室的基础和技术研究方面也取得了众多成绩，如：

提出了中国大气尘的统计规律、湿度对大气尘浓度的作用、“W”型大气尘浓度日分布模型，为确定室外设计浓度提供了依据；

提出了带空气幕层流罩的隔离效果、设计原理与计算方法；

提出了乱流洁净室的均匀分布理论计算公式、经验计算公式，以及自净时间、污染时间的计算式；

提出了单向流洁净室下侧回风方式的最大室宽、计算模型以及下限风速的概念及数据；

提出了高效空气过滤器封导结合的双环密封原理和方案，倒置式液槽密封方案；

进行了人体发菌量的测试与分析；

建立了滤材、滤器的细菌过滤效率测试台，得到了对大气尘菌源的滤菌效率与计数、计重效率的相关关系。中国建筑科学研究院、四机部十院、十一院等科研院所、设计院、天津大学、清华大学、同济大学、哈尔滨建筑工程学院、河北工学院等院校对此做了较多的工作。

 

3、洁净室与国际全国接轨，走向规范化

九十年代初至今，在电子技术持续飞速发展的推动下，洁净技术不断前进。三十多年来，美国联邦标准209，一直是世界各国洁净技术行业公认的标准。美国总服务局（GSA—U.S.General Services Administration），也就是批准美国联邦标准供联邦政府各机构使用的权威单位，于2001年11月29日发布公告，废止FED—STD—209E，等同采用ISO—14644相关标准。这个决定标志着洁净技术随同世界经济一体化进一步走向国际大同。九十年代初至今，中国经济始终保持稳定的高速增长，国际投资持续注入，一批跨国集团在中国陆续兴建了众多的微电子工厂。因此国内技术与研究人员有更多机会直接接触国外高级别洁净室的设计理今，了解世界的先进设备和装置、管理与维护等等。从这方面来看，的确从各个角度与国际日益接轨。

 

概括这十年来国内洁净室技术行业的历程，洁净室技术行业在许多方面日益与国际接轨，反映在相关规范的内容、洁净室设计思路与方案、施工技术与管理、检测手段与技术等等方面。全国处于运行状态的各种级别的洁净室面积，据不完全统计和测算，从八十年代初10多万平方米猛增到200多万平方米。