洁净室污染控制基础知识(4-1-1)
文章出处：KENID 整理日期：2013-04-24 浏览：1126次
洁净室是产品在生产过程中环境被控制的房间，在无尘室中空气的尘粒被集中控制在一定标准范围内，并消除微米级的空气污染。这些尘粒通常由人体产生，加工过程中产生，设备装置产生，必须不断从空气中除去它们。尘粒除去需要达到什么水平需依靠标准要求，美国联邦标准209E现在被广泛应用，该标准规定了空气洁净度的等级，洁净室或洁净区域空气粒子数量的多少，科学严谨的标准有利用防止产品污染。
洁净室控制污染唯一的方法是控制整个环境，包括室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明等需要控制，尘粒来源需要控制或消除。只要可能，清洁室内的工作要多于清洁过滤器，无尘室的设计和制造使用时需要科学的设计方案和方法，在电子学，药学，生物制药，医学医疗仪器工业和其它的关键制造业的环境生产中已被证实.
在比较无尘室和一栋典型的办公大楼的不同时只需抓住一个核心“空气粒子数监控”，典型办公大楼空气每立方英尺包含 500,000---1,000,000个 粒子 (直径0.5微米以上)；100级无尘室设计空气粒子允许数不超过每立方英尺100 个粒子 (直径0.5微米以上)；1000 和10,000无尘室分别被设计限制粒子为 1000 和 10,000每立方英尺。
一根人类的头发直径约为75-100 个微米，小于头发200倍的粒子（0.5微米）在无尘室却能引起重要的灾难.，污染能导致昂贵的停工时间而且增加制造成本，事实上，十亿美元的美国航空暨太空总署哈柏太空望远被损坏就是因为小于 0.5微米的粒子污染造成。无尘室一经建造,在维护和清洁上也必须有同样高的标准. 本手册专门准备给专业清洁人士提供无尘室如何清洁的基础知识。
污染是什么?
洁净室污染是物件表面被污染物质污染的过程或行为，有两种广义范畴的表面污染:膜状类型和微粒子,这些污染物能在小型电路上产生"凶手缺点", 只有 10nm(奈米) 的膜装污染物能大幅减少晶圆或芯片涂料的附着. 一般广泛可接受的污染物的大小是 0.5微米的粒子,现在一些微电子工业控制目标是更小的粒子。
洁净室部分污染物明细可参见下面污染的来源, 任何这些尘粒可能是损害一个线路的来源， 我们的目标是阻止这些污染物进入无尘环境, 它需要每个进入无尘室的人员承诺避免发生，专业清洁人员需知道污染控制的重要性, 无论谁进入无尘室或在无尘室清洁时都需要严格执行这样要求，不可接受任何妥协
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